鋭角回折格子の超精密シェーパ加工におけるバリの抑制
抄録
<p>ミクロンオーダの微細なV溝からなる回折格子の超精密切削加工において，稜線に生じるバリは回折効率の低下につながる重大な欠陥である．特に，溝形状を樹脂等に転写してレプリカを作成するための金型の加工においては，バリは離型を妨げる要因となるため一切許容できない．本研究では，特にバリの生じやすい鋭角の頂点を有するV溝の加工について，バリの発生メカニズムおよびこれを抑制する方法について検討した．</p>
収録刊行物
-
- 精密工学会学術講演会講演論文集
-
精密工学会学術講演会講演論文集 2019S (0), 678-679, 2019-03-01
公益社団法人 精密工学会
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001277345914880
-
- NII論文ID
- 130007702760
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可