ナノ領域の力学特性計測

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タイトル別名
  • Mechanical property measurements on nanoscale
  • ナノ リョウイキ ノ リキガク トクセイ ケイソク

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抄録

<p>ナノオーダーの線幅の素子の普及に伴い，材料や素子のナノ領域の評価が重要になってきた．ここで表面下を見るには，力学特性計測が有利である．本稿では，この計測のために開発された音響力顕微鏡と総称される方法を紹介し，微小素子内部のき裂，剥離，および強誘電体材料の分域や分域境界の力学特性評価への応用を示す．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 76 (7), 751-757, 2007-07-10

    公益社団法人 応用物理学会

参考文献 (30)*注記

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