半導体技術を応用した有機/バイオ素子作製

  • 堀内 勉
    NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
  • 林 勝義
    NTTマイクロシステムインテグレーション研究所

書誌事項

タイトル別名
  • Development of biodevices using microfabrication techniques
  • 基礎講座 基礎編 バイオとエレクトロニクスの融合・接点(4)半導体技術を応用した有機/バイオ素子作製
  • キソ コウザ キソヘン バイオ ト エレクトロニクス ノ ユウゴウ セッテン 4 ハンドウタイ ギジュツ オ オウヨウ シタ ユウキ バイオ ソシ サクセイ

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抄録

<p>有機/バイオ素子の作製は,半導体で広く用いられている微細加工技術を基礎にしているが,材料や素子構造が異なるため,実際の加工法も異なる.本講座では,微細加工技術について詳しく,かつ有機/バイオ素子作製への展開を図ろうと考えている研究者を対象に,微細加工装置,材料,バイオセンサーの検出原理,バイオ材料の固定化法,微細流路の形成法,基板接着技術を紹介し,具体例として,カテコールアミンセンサーと揮発性有機化合物センサーについても紹介する.</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 74 (3), 366-370, 2005-03-10

    公益社団法人 応用物理学会

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (15)*注記

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