書誌事項
- タイトル別名
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- High frequency transmission property of fine pattern CPW lines fabricated by SAP and Damascene process
- SAP工法とダマシン工程による微細CPW伝送線路の高周波伝送特性評価
- SAP コウホウ ト ダマシン コウテイ ニ ヨル ビサイ CPW デンソウ センロ ノ コウシュウハ デンソウ トクセイ ヒョウカ
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収録刊行物
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- マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
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マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集 27 (0), 339-342, 2017
一般社団法人 エレクトロニクス実装学会
