書誌事項
- タイトル別名
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- A Review of Capacitive MEMS Hydrogen Sensor using Pd based Metallic Glass with Fast Response and Low Power Consumption
- Pdケイ キンゾク ガラス オ モチイタ コウソク オウトウ ・ テイショウヒ デンリョク ヨウリョウガタ MEMS スイソ センサ ニ カンスル レビュー
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抄録
<p>This paper addresses a capacitive MEMS hydrogen sensor using Pd based metallic glass for future hydrogen society. Firstly, we investigate PdCuSi as Pd based metallic glass (MG) and show this material is promising for capacitive MEMS hydrogen sensor. Secondly, we apply the Pd based MG to a hydrogen sensor having inverted T-shaped electrode. The sensor was fabricated by a surface micromachining process. We show that the fabricated hydrogen sensor exhibits hysteresis free and fast response property at room temperature.</p>
収録刊行物
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- 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
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電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) 138 (7), 312-318, 2018-07-01
一般社団法人 電気学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001288040503552
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- NII論文ID
- 130007387000
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- NII書誌ID
- AN1052634X
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- ISSN
- 13475525
- 13418939
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- NDL書誌ID
- 029123107
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可