放射光走査型光電子顕微分光におけるスペクトルイメージングデータ解析の機械学習による高速化

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タイトル別名
  • High-throughput spectrum imaging data analysis of synchrotron X-ray photoelectron microscopy using machine learning

抄録

走査型光電子顕微分光において従来の2次元スペクトルイメージングに加え、深さ分析やデバイス動作中オペランド測定を行ってパラメータが増加すると、データ量が膨大になる。この大規模スペクトルデータを効率的に処理して物性解釈につなげるために、機械学習の枠組みを利用して、計算時間コストの低い高速自動ピーク分離のアルゴリズム開発を行った。講演ではトランジスタなど様々な実計測データへの適用例を紹介する。

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001288094291840
  • NII論文ID
    130007519059
  • DOI
    10.14886/sssj2008.2018.0_126
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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