スパッタ薄膜を用いた微細接触部の検出に関する研究

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タイトル別名
  • Use of Sputtered Thin Film for Detecting Contacts

抄録

<p>本研究では，微細な接触部の検出方法として，固体表面に被覆したスパッタ薄膜が接触によって相手表面に移着することを利用することを提案している．微細な粗さの鋼球と滑らかなガラス平面の押し付け実験を行った後，ガラス表面の微細な接触部を光学顕微鏡やSPMを用いて測定を行った．その結果，サブミクロン以下の大きさの真実接触部について詳細に検出することができた．</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390002184876703616
  • NII論文ID
    130007800832
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2019a.0_155
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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