高速低温スパッタ法によるTiO2光触媒薄膜の成膜技術開発と薄膜成長モデル解明に関する研究

書誌事項

タイトル別名
  • Development of High-rate Low-temperature Sputtering for Titanium Oxide Film Photocatalyst and Study of Explannation of the Thin Film Formation Model.
  • コウソク テイオン スパッタホウ ニ ヨル TiO2 ヒカリ ショクバイ ハクマク ノ セイマク ギジュツ カイハツ ト ハクマク セイチョウ モデル カイメイ ニ カンスル ケンキュウ

この論文をさがす

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ