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- 金 蓮花
- 山梨大学
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- 上原 誠
- (株)目白67
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- ジェローズ ベルナール
- 名古屋大学
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- 近藤 英一
- 山梨大学
書誌事項
- タイトル別名
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- Ellipsometric Microscope ―Design and Application of a Microscope for Oblique Observation of Samples―
- エリプソメトリック ケンビキョウ : ナナメ カンソクヨウ コウガク ケンビキョウ ノ セッケイ カラ ソノ オウヨウ マデ
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収録刊行物
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- 精密工学会誌
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精密工学会誌 86 (7), 533-536, 2020-07-05
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390003825195990016
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- NII論文ID
- 130007869392
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- NII書誌ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
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- NDL書誌ID
- 030561620
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles