Development of ozone/UV assisted wet polishing

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Other Title
  • オゾン/紫外光援用ウエット研磨法の開発
  • Effect of introducing micro bubbles
  • マイクロバブルの効果

Abstract

<p>溶媒環境下における化学反応を利用した難加工材料の高精度加工プロセスの開発に取り組んでいる．現在，加工効率の向上を図るために，溶媒環境下において，オゾンと紫外線を利用した加工法の開発に取り組んでいる．本報告では，マイクロバブル状にしたオゾンを利用したウエット研磨による単結晶ダイヤモンドの加工特性について報告する．</p>

Journal

Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390004222624839296
  • NII Article ID
    130007896494
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2020s.0_142
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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