サブ波長構造を形成するための凝集金属マスクの生成
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication of Metal Agglomeration Masks for Making Subwavelength Structure
抄録
<p>レンズなどの表面にサブ波長構造を形成するために，金型表面に微細金属マスクを生成する方法を検討した．金型は微細金属をマスクとしてドライエッチングすることによってサブ波長構造を形成する．金属マスクは，金属薄膜が高温下で自己組織的に凝集する現象を応用した．実験に先立ち，無反射となるために必要なサブ波長構造としてのナノ突起の形状を電磁光学シミュレーションによって求めた．</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2021S (0), 773-774, 2021-03-03
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390007779708042752
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- NII論文ID
- 130008084267
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可