半導体 LSI の信頼性予測・推定の実際

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  • The Actual Condition of Reliability Prediction and Presumption of Semiconductor LSI
  • ハンドウタイ LSI ノ シンライセイ ヨソク ・ スイテイ ノ ジッサイ

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抄録

近年，半導体 LSI（大規模集積回路）の主要な故障メカニズムの理解が進んだことから，市場環境における信頼性は規定化された信頼性試験を行うことで確認できるようになっており，新たに詳細な評価計画や統計解析を行って信頼性の予測と推定を行う機会は減った．一方，車載や産業用途のアプリケーションへの需要は拡大しており，この分野ではより高い信頼性が求められる．高い信頼性を確保するためには，より高い精度の信頼性推定と予測のレベルが必要で，改めて正確な統計的手法による解析が重要になってきている．本稿では，日本発の国際標準規格として車載，産業用途向けに規格化された IEC60749-431）の内容を中心に，これらの LSI 製品の信頼性を確保する為の信頼性推定と予測の実際と，それを行う際の注意点について説明する．

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