MOCVD法によるSi基板上へのBiFeO<sub>3</sub>薄膜のMOCVD成長
書誌事項
- タイトル別名
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- MOCVD Growth of BiFeO<sub>3</sub> films on Si sbstrate by MOCVD
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 893-893, 2020-08-26
公益社団法人 応用物理学会