ScAlN圧電層 / LiNbO<sub>3</sub>圧電基板での縦型リーキーSAW伝搬におけるオイラー角の検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Optimization of Eular angles for longitudinal leaky SAW propagation on piezoelectric ScAlN layers / LiNbO<sub>3</sub> substrates
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 293-293, 2020-08-26
公益社団法人 応用物理学会