Next Generation CMP Process Technique for Hard-to-Process Single Crystals
-
- AIDA Hideo
- 長岡技術科学大学
-
- TAKEDA Hidetoshi
- 長岡技術科学大学
-
- MIYASHITA Tadakazu
- 不二越機械工業(株)
-
- KAJIKURA Atsushi
- 不二越機械工業(株)
-
- DOI Toshiro
- 九州大学 埼玉大学 (株)Doi Laboratory
Bibliographic Information
- Other Title
-
- 難加工次世代単結晶のための次世代型CMP加工技術
- 難加工次世代単結晶のための次世代型CMP加工技術 : プラズマ/CMP同時融合加工の実用化に向けて
- ナン カコウ ジセダイタンケッショウ ノ タメ ノ ジセダイガタ CMP カコウ ギジュツ : プラズマ/CMP ドウジ ユウゴウ カコウ ノ ジツヨウカ ニ ムケテ
- ―プラズマ/CMP同時融合加工の実用化に向けて―
Search this article
Journal
-
- Journal of the Japan Society for Precision Engineering
-
Journal of the Japan Society for Precision Engineering 88 (6), 435-439, 2022-06-05
The Japan Society for Precision Engineering
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1390010842618266240
-
- NII Book ID
- AN1003250X
-
- ISSN
- 1882675X
- 09120289
-
- NDL BIB ID
- 032224798
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- JaLC
- NDL
- Crossref