表面波プラズマによるグラファイトライクカーボン膜の高速成膜
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- BAE Hansin
- 名古屋大学
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- 疋田 和也
- 名古屋大学
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- 鈴木 陽香
- 名古屋大学 名大低温プラズマ
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- 笹井 建典
- 名大低温プラズマ
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- 豊田 浩孝
- 名古屋大学 名大低温プラズマ 核融合研
書誌事項
- タイトル別名
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- High-speed Deposition of Graphite-like Carbon Film by Microwave Surface-Wave Plasma
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 1472-1472, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会