種々のZr/(Zr+Ti)比を有する分極軸配向正方晶PZTエピタキシャル膜の特性評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Characterization of polar axis-oriented tetragonal epitaxial PZT films with various Zr/(Zr+Ti) ratio
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 1197-1197, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390010997580501888
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- ISSN
- 24367613
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC