Si 含有DLC 成膜用テトラメチルシランプラズマ特性へ及ぼす投入電力の影響の計測
書誌事項
- タイトル別名
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- Measurement of Influence of Input Power on Fundamental Properties of Tetramethylsilane Plasmas for Deposition of Si-containing DLC Films
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 1441-1441, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会