バイオテンプレート極限加工により作製されたシリコンナノピラー構造における表面濡れ性の制御
書誌事項
- タイトル別名
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- Surface Wettability of Silicon Nanopillar Array Structures Fabricated by Bio-template Ultimate Fabrication Processes
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2241-2241, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会