スパッタ法を用いて作製したHfO<sub>2</sub>/Ge構造に対するPDAの効果

DOI

山本裕介

公立諏訪東京理科大
山田大地

公立諏訪東京理科大
王谷洋平

公立諏訪東京理科大
岡本浩

弘前大

書誌事項

タイトル別名

Effects of PDA on sputter-derived HfO<sub>2</sub>/Ge structures

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 2286-2286, 2021-02-26

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390010997580801280
DOI

10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2286
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

書き出し

問題の指摘

ページトップへ