局所DLTS法を用いたマクロステップを有するSiCにおける界面準位密度分布の測定
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- 保坂 杏奈
- 東北大通研
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- 山末 耕平
- 東北大通研
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- Judith Woerle
- ETH Zurich Paul Scherrer Institute
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- Corrado Bongiorno
- CNR-IMM
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- Gabriel Ferro
- リヨン大
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- Ulrike Grossner
- ETH Zurich
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- Massimo Camarda
- ETH Zurich Paul Scherrer Institute
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- 長 康雄
- 東北大通研
書誌事項
- タイトル別名
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- Observation of interface state density distribution in macrostepped SiO<sub>2</sub>/SiC using local-DLTS
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 3629-3629, 2019-09-04
公益社団法人 応用物理学会