シリコン結晶中における酸素固溶度を決定するメカニズムの考察
書誌事項
- タイトル別名
-
- Consideration of the determining mechanism of oxygen solubility in a Si crystal
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 3683-3683, 2019-09-04
公益社団法人 応用物理学会
