両面研磨加工における加工物－上定盤間の研磨液挙動の検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Investigation of slurry behavior between workpiece and upper platen during double-sided lapping
抄録
<p>加工物の上下両面を同時に研磨する両面研磨において，研磨特性に大きく影響する加工物―上定盤間の研磨液挙動を検討する．下定盤をもたない観察装置上で，加工物―上定盤間の研磨液挙動の観察を行った．その結果，供給孔からの浸入，溝を介しての浸入の他，キャリア上からの浸入も確認された．また，研磨液供給孔の位置は，一般的な定盤と異なり，溝外に設置した方が研磨液の供給において有効であることが示唆された．</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2022S (0), 124-125, 2022-03-02
公益社団法人 精密工学会