流体慣性を応用した空気圧マイクロポンプに関する研究

DOI
  • 上田 敏弘
    東京工大　工学院　機械系
  • 吉田 和弘
    東京工大　科学技術創成研究院　未来産業技術研究所
  • 金 俊完
    東京工大　科学技術創成研究院　未来産業技術研究所

書誌事項

タイトル別名
  • A Study on a Pneumatic Micropump Using Fluid Inertia

抄録

<p>空気圧駆動ソフトマイクロロボットのマイクロ空気圧源のため，流体慣性を応用した空気圧マイクロポンプを提案，検討する．高出力が確認されている液圧用流体慣性マイクロポンプの動作原理を空気圧マイクロポンプに応用し，その特性をシミュレーションにより詳細に検討する．さらに，チェックバルブなどの主要構成部品のMEMS技術による製作を試み，その特性を実験的に検討する．</p>

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390011804536009216
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2022s.0_695
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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