直線集束ビーム超音波材料解析システムによるSiO<sub>2</sub>薄膜装荷36°<i>Y</i>カットLiTaO<sub>3</sub>の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Evaluation of 36° <i>Y</i>-cut LiTaO<sub>3</sub> with SiO<sub>2</sub> thin film by the line-focus-beam ultrasonic material characterization system
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 410-410, 2018-09-05
公益社団法人 応用物理学会