RIE-GaN表面へのAlGaN直接成長によるAlGaN/GaN構造の電気的特性におけるRIE損傷層除去効果
書誌事項
- タイトル別名
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- Effects of RIE-damaged layer removal on electrical properties of AlGaN/GaN structures prepared by AlGaN regrowth on RIE-GaN surface
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 3337-3337, 2018-03-05
公益社団法人 応用物理学会