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極性制御したZnO薄膜を用いたZnO/Si 接合の特性評価
DOI
大澤 健男
物材機構
山形 栄人
法政大院
石垣 隆正
法政大院
大橋 直樹
物材機構
書誌事項
タイトル別名
Characterization of ZnO/Si Junctions using Polarity-Controlled ZnO Thin Films
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 3886-3886, 2017-08-25
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
7a-C17-8
合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」
薄膜成長
酸化亜鉛
光電子分光
極性
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390012468134111616
DOI
10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_3886
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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