絶縁体表面の構造解析

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  • 福田 浩昭
    大阪公立大学 国際基幹教育機構物理学分野
  • 譚 賡
    大阪公立大学 国際基幹教育機構物理学分野
  • 梅澤 憲司
    大阪公立大学 国際基幹教育機構物理学分野 大阪公立大学 大学院工学研究科量子放射線系専攻

書誌事項

タイトル別名
  • An insulator surface structural analysis
  • ゼツエン タイヒョウメン ノ コウゾウ カイセキ

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説明

<p>固体表面において絶縁体表面の実験的研究は，チャージアップ現象が生じるため電子線，イオンなどの荷電粒子を利用しにくいことが知られています．そこで，電気的に中性な原子ビームを用いた絶縁体表面観察についてご紹介します．本稿では，低速原子散乱分光法による絶縁体表面解析について説明します．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 91 (11), 694-698, 2022-11-01

    公益社団法人 応用物理学会

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