液体クラスターイオンビームの遷移金属薄膜への照射効果
書誌事項
- タイトル別名
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- Irradiation Effect on Transition Metal Thin Film by Liquid Cluster Ion Beam
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 1670-1670, 2017-03-01
公益社団法人 応用物理学会