<i>a</i>-InGaZnO薄膜の熱電特性における膜厚とアニールの影響
書誌事項
- タイトル別名
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- Effects of Film Thickness and Annealing on Thermoelectric Properties of <i>a</i>-IGZO
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.2 (0), 1872-1872, 2016-09-01
公益社団法人 応用物理学会