表面電荷反転XPS法によるTaO<sub>x</sub>ナノシート/SiO<sub>2</sub>/Si界面バンドオフセットの解析
書誌事項
- タイトル別名
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- Interfacial band offset analysis of TaO<sub>x</sub> nanosheet/SiO<sub>2</sub>/Si by surface charge-switched x-ray photoelectron spectroscopy
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 1633-1633, 2016-03-03
公益社団法人 応用物理学会