表面電荷反転XPS法によるTaO<sub>x</sub>ナノシート/SiO<sub>2</sub>/Si界面バンドオフセットの解析

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  • Interfacial band offset analysis of TaO<sub>x</sub> nanosheet/SiO<sub>2</sub>/Si by surface charge-switched x-ray photoelectron spectroscopy

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