c-BN薄膜のイオンビームアシストMBE成長における基板へのバイアス電圧印加の効果

DOI

平間一行

NTT物性研
谷保芳孝

NTT物性研
山本秀樹

NTT物性研
熊倉一英

NTT物性研

書誌事項

タイトル別名

Effect of applying substrate bias for ion-beam-assisted MBE growth of c-BN thin films

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2016.1 (0), 3431-3431, 2016-03-03

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390013972158513664
DOI

10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_3431
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

書き出し

問題の指摘

ページトップへ