次世代半導体製品および超高純度ダイヤモンドウエハの開発

DOI Web Site

渋谷道男

Orbray株式会社　湯沢工場
柴田大輔

Orbray株式会社　技術本部
野村光由

秋田県立大学

収録刊行物

精密工学会誌

精密工学会誌 89 (5), 355-358, 2023-05-05

公益社団法人精密工学会

キーワード

Mechanical Engineering

詳細情報詳細情報について

CRID

1390014514025106048
DOI

10.2493/jjspe.89.355
ISSN

1882675X

09120289
Web Site

https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/89/5/89_355/_pdf
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC
- Crossref

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