メタルフリー · 反応性負イオンFIBへの応用へ向けたイオン液体イオン源の開発と照射効果の検討
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of Ionic Liquid Ion Source and its Irradiation Effects on Solid Surface for Metal-Free and Reactive Negative Ion FIB
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 246-246, 2015-02-26
公益社団法人 応用物理学会