３次元アトムプローブ法によるAl<sub>2</sub>O<sub>3</sub>膜中の水素分布評価
書誌事項
- タイトル別名
-
- Hydrogen Distribution Analysis in Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Film by Atom Probe Tomography
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 2806-2806, 2015-02-26
公益社団法人 応用物理学会
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390014591547812608
-
- ISSN
- 24367613
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC