書誌事項
- タイトル別名
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- Theoretical Studies on the R.F.Field Distribution of the Inductively Coupled Radio Frequency Discharge
- ユウドウ ケツゴウガタ コウシュウハ ホウデン ノ デンカイ ブンプ ニ カンスル リロンテキ ケンキュウ
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説明
A inductively or capacitively coupled radio frequency discharge is being applied to the plasma CVD etc. After that, radio frequency discharge is called r.f. discharge. This r.f. discharge discharges using the r.f. electric field. In a inductively coupled r.f. discharge, a high-frequency work coil of several turns is wound around cylindrical discharge tube. In this paper, the distribution of the r.f. electric field to the discharge tube direction of the radius is being reported to have been theoretically sought using Maxwell's electromagnetic equation.
収録刊行物
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- 福井工業大学研究紀要. 第一部
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福井工業大学研究紀要. 第一部 (37), 1-8, 2007-05-31
福井工業大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390014813074799360
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- NII論文ID
- 110006459224
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- NII書誌ID
- AN10503694
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- ISSN
- 02868571
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- NDL書誌ID
- 8875673
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- IRDB
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用可