空洞共振器型ランチャーを用いた915MHz UHF波励起大面積表面波プラズマの生成
Journal
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- JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
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JSAP Annual Meetings Extended Abstracts 2011.1 (0), 1796-1796, 2011-03-09
The Japan Society of Applied Physics
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390017300967016320
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- ISSN
- 24367613
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC