バイポーラ型プラズマ利用イオン注入法で作製したダイヤモンド状炭素膜の水素量と機械的特性

収録刊行物

• 応用物理学会学術講演会講演予稿集

  応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010.2 (0), 1094-1094, 2010-08-30

  公益社団法人 応用物理学会