微細線構造レプリカモールドを用いた再離型処理時のUV-NIL転写回数の寿命予測
書誌事項
- タイトル別名
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- Life-time evaluation of UV-NIL transfers using line and space replica mold with re-release agent treatment
抄録
<p>金型はUV-NIL転写を繰り返すと表面の離型剤が劣化し樹脂付着や欠損が生じる。L&S構造では線に沿った水の接触角（CA）と線を横切るCAがあり、2つのCAの差を利用することで、金型の離型処理の寿命を予測することが可能である。本研究では、100nmのL&Sパターンを有するレプリカモールドを用いて、低濃度離型剤の特性を検討した。また、レプリカモールドの寿命前に、再度離型処理を施すことで、寿命を伸ばすことができるか調査した。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 330-331, 2023-08-31
公益社団法人 精密工学会