ECR-PECVD法を用いて低温作製した光周波数コム発生器

DOI

相原卓磨

NTT先デ研
開達郎

NTT先デ研
西英隆

NTT先デ研
土澤泰

NTT先デ研
松尾慎治

NTT先デ研

書誌事項

タイトル別名

Optical frequency comb generator fabricated by low-temperature process using ECR-PECVD method

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2022.1 (0), 1084-1084, 2022-02-25

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390022457810858112
DOI

10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_1084
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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