書誌事項
- タイトル別名
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- Tungsten selective CVD and its applications to VLSI metallization.
- 公開日
- 1989
- DOI
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- 10.2320/materia1962.28.48
- 公開者
- 社団法人 日本金属学会
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収録刊行物
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- 日本金属学会会報
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日本金属学会会報 28 (1), 48-54, 1989
社団法人 日本金属学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679032004608
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- NII論文ID
- 130004119518
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- ISSN
- 18845835
- 00214426
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- Crossref
- CiNii Articles
