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- ITOH Akiko
- Mechanical Engineering Research Laboratory, Hitachi, Ltd.
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- NAKAZAWA Masaru
- Mechanical Engineering Research Laboratory, Hitachi, Ltd.
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- UEDA Sinjiroo
- Mechanical Engineering Research Laboratory, Hitachi, Ltd.
Bibliographic Information
- Other Title
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- 有限要素法による真空排気シミュレータ
- ユウゲン ヨウソホウ ニ ヨル シンクウ ハイキ シミュレータ
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Journal
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- Shinku
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Shinku 30 (5), 420-424, 1987
The Vacuum Society of Japan
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679039949952
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- NII Article ID
- 130000863939
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- NII Book ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL BIB ID
- 3129431
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
