レーザ・イオン化法による圧力計測のための極高真空装置の試作

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タイトル別名
  • Extremely-high vacuum system for the pressure measurement using the laser-ionization method.
  • レーザ イオンカホウ ニ ヨル アツリョク ケイソク ノ タメ ノ キョク

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抄録

記事分類: 測定・測定器--圧力

収録刊行物

  • 真空

    真空 34 (1), 14-16, 1991

    一般社団法人 日本真空学会

被引用文献 (1)*注記

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