反応性ニュートラルビームスパッタ法による酸化タンタル薄膜の作製　　Ｎ２ガス添加効果

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タイトル別名
  • Ta2O5 thin films preparation of reactive neutral beam sputter. Study on effects of N2 gas.
  • ハンノウセイ ニュートラル ビーム スパッタホウ ニ ヨル サンカ タンタル
  • Study on Effects of N<SUB>2</SUB> Gas
  • N<SUB>2</SUB>ガス添加効果

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収録刊行物

  • 真空

    真空 30 (5), 504-507, 1987

    一般社団法人 日本真空学会

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