Etching Fabrication of Nanostructures Using Metal Clusters as Formation Nuclei.
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- KANAYAMA Toshihiko
- Joint Research Center for Atom Technology, National Institute for Advanced Interdisciplinary Research
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- TADA Tetsuya
- 電子技術総合研究所
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- KOGA Kenji
- National Institute for Advanced Interdisciplinary, Research
Bibliographic Information
- Other Title
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- 金属クラスターを形成核とするナノ構造のエッチング加工
- キンゾク クラスター オ ケイセイカク ト スル ナノ コウゾウ ノ エッチング カコウ
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Journal
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- Shinku
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Shinku 42 (2), 91-96, 1999
The Vacuum Society of Japan
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679040225792
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- NII Article ID
- 10002476126
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- NII Book ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL BIB ID
- 4677317
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles