書誌事項
- タイトル別名
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- Dry Pump. Roots Dry Vacuum Pump Made of Aluminum Cast Alloy and Reactive Gas Pumping.
- アルミニウム ゴウキン オ モチイタ ドライ シンクウ ポンプ ト ハンノウセイ ガス ノ ハイキ
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抄録
Newly released roots type dry vacuum pumps (PDR-C series; ULVAC JAPAN, Ltd.) are described.<BR>Main parts of the pumps consist of aluminum cast alloys. Their high thermal conductivity makes it easy to regulate operation temperature by changing cooling water path. These models have high and low temperature operation modes.<BR>High temperature operation (>120°C) are suitable for Si3N4 CVD, NF3 cleaning and low temperature operation (<100°C) for Cu-CVD, W-CVD processes.
収録刊行物
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- 真空
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真空 43 (5), 564-571, 2000
一般社団法人 日本真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679040345088
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- NII論文ID
- 10004562333
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- NII書誌ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL書誌ID
- 5359793
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可