ドライポンプ  各種ドライポンプの現状と課題

書誌事項

タイトル別名
  • Present Situation and Problems of Dry Pumps
  • カイセツ カクシュ ドライポンプ ノ ゲンジョウ ト カダイ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 43 (5), 557-563, 2000

    一般社団法人 日本真空学会

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参考文献 (15)*注記

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