Ｍｏスパッタ膜の微視的形態に及ぼす電力密度の影響　表面粗さ測定による評価

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書誌事項

タイトル別名
  • Influence of power density micro-morphology of sputtered Mo films. Estimation by measurement of surface roughness factor.
  • Mo スパッタ マク ノ ビシテキ ケイタイ ニ オヨボス デンリョク ミツド
  • Estimation by Measurement of Surface Roughness Factor
  • 表面粗さ測定による評価
公開日
1991
DOI
  • 10.3131/jvsj.34.204
公開者
一般社団法人 日本真空学会

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説明

記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路

収録刊行物

  • 真空

    真空 34 (3), 204-207, 1991

    一般社団法人 日本真空学会

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