低温における吸着と冷凍技術  クライポンプとクライオトラップの最近の発展

書誌事項

タイトル別名
  • Recent Developement of Cryopumps and Cryotraps
  • クライオポンプ ト クライオトラップ ノ サイキン ノ ハッテン

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収録刊行物

  • 真空

    真空 43 (4), 469-476, 2000

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (9)*注記

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