Status quo of low pressure CVD equipment and its technological problems.

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  • 減圧ＣＶＤ装置の現状と技術的課題
  • ゲンアツ CVD ソウチ ノ ゲンジョウ ト ギジュツテキ カダイ

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記事分類: 化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--非金属元素・非金属化合物--セラミックス

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  • Shinku

    Shinku 28 (3), 113-118, 1985

    The Vacuum Society of Japan

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